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Equipment

Fully Automatic Dicing Saw

Maker

Disco

Model

DFD 651

Status

Excellent

Location

In Factory

Application

Dicing/Cutting/Slotting various wafers

 

제목 없음

최대 대응 웍 사이즈

ø 203.2

대응 프레임

2-6, 2-8

X축

절삭 가능범위(mm)

210

공급속도 입력범위(mm/s)

0.1 - 450

Y축

절삭 가능범위(mm)

210

인덱스 스텝(mm)

0.0001

위치결정 정밀도(mm)

0.003이내/210
(단일 오차) 0.002이내/5

스케일 분해능(mm)

0.0002

유효 스트로크(mm)

26

위치결정 정밀도(mm)

0.002이내/26 

스케일 분해능(mm)

0.0002

Z1·Z2축

유효 스트로크(mm)

7.2 (ø 2"블레이드의 경우)

이동 분해능(mm)

0.00025

반복 정밀도(mm)

0.001

사용블레이드 최대구경 (mm)

ø 55.56
ø 76.2

θ축

최대 회전각도(deg)

380

스핀들

정격출력(kW)

1.0 at 60,000 min-1

정격토크(Nm)

0.16

회전 수 범위(min-1) 

6,000 - 60,000

장비 치수(WxDxH)(mm)

1,350 x 1,168 x 1,235

장비 무게(kg) 

약1,300

 


 

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