¾È³çÇϽʴϱî?
ÀúÈñ µð¿¡½º¼¼¹ÌÄÜÀº 1998³â â¾÷ÀÌ·¡
Si,Glass,Ceramic Àç·á µî¿¡ ´ëÇÑ
Á¤¹Ð°¡°ø±â¼úÀ» ²ÙÁØÈ÷ °³¹ßÇØ
¿Ô°í ÀÌ¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© ±¹³» ¾÷ü
¹× ¿¬±¸±â°ü µî¿¡ °¡°ø ¼ºñ½º¸¦
ÇÏ¸é¼ ²ÙÁØÈ÷ ¼ºÀåÇØ ¿Ô½À´Ï´Ù.
±×µ¿¾È ÀúÈñ µð¿¡½º¼¼¹ÌÄÜÀ» ¾Æ³¢°í
º¸»ìÆìÁֽŠ¿©·¯ °í°´ ¿©·¯ºÐ¿¡°Ô
Áø½ÉÀ¸·Î °¨»çµå¸³´Ï´Ù.
ÃÖ±Ù ¹ÝµµÃ¼°ü·Ã »ê¾÷ ¹× MEMS
±â¼ú°³¹ß·Î ÀÎÇÏ¿© CMPÀÇ ±â¼úÀº
Â÷¼¼´ë Çٽɱâ¼ú ÁßÀÇ Çϳª·Î ºÎ°¢µÇ°í
ÀÖ´Â ¹Ù ÀúÈñ µð¿¡½º¼¼¹ÌÄܵµ â¾÷
½ÃºÎÅÍ ÀÌ·¯ÇÑ ±â¼ú°³¹ß¿¡ ¸ÅÁøÇÑ
°á°ú °í°´ ¿©·¯ºÐ¿¡°Ô °íÇ°ÁúÀÇ
¼ºñ½º¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ ¾ÆÁ÷µµ °³¹ßÇØ¾ß ÇÒ
ºÎºÐµµ ³Ê¹« ¸¹±â ¶§¹®¿¡ ¾ÕÀ¸·Îµµ
ÀÚ¸¸ÇÏÁö ¾Ê°í Á» ´õ ³ªÀº ±â¼ú°³¹ßÀÌ
ÀÌ·ç¾îÁ® °í°´ ¿©·¯ºÐ¿¡°Ô ºÀ»çÇÒ
¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±ÀÇ ³ë·ÂÀ» ±â¿ïÀÌ°Ú½À´Ï´Ù.
¶Ç, Á¤¹Ð°¡°ø±â¼úÀº ÀåºñÀÇ
°³¹ß°ú °¡°øÁ¶°ÇÀÇ setup, °¡°ø±â¼úÀÚÀÇ
¼÷·ÃµÈ ±â¼úµéÀÌ ÇÙ½ÉÀûÀÎ »çÇ×ÁßÀÇ
ÇϳªÀÔ´Ï´Ù. ÀúÈñ µð¿¡½º¼¼¹ÌÄÜÀº À¯ÈÞÀåºñµéÀ»
µµÀÔÇÏ¿© °¡°ø¿¡ ÀûÇÕÇϵµ·Ï °³Á¶
¹× º¸¿Ï ±×¸®°í °øÁ¤ setup ¹×
Ç°Áúº¸ÁõÀ» ÅëÇؼ ÇÕ¸®ÀûÀÎ °¡°ÝÀ¸·Î
°íÇ°ÁúÀÇ Àåºñ¿Í °øÁ¤ setupÀÌ
ºü¸¥ ½ÃÀÏ ¾È¿¡ µ¿½Ã¿¡ ÀÌ·ç¾îÁú
¼ö ÀÖ´Â ¼ºñ½º ü°è¸¦ ±¸ÃàÇÏ°í
ÀÖ½À´Ï´Ù.
¾ÕÀ¸·Îµµ ¸¹Àº °ü½É°ú ¼º¿øÀ»
ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù. °¨»çÇÕ´Ï´Ù.
|