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Equipment
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Fully Automatic Dicing Saw
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Maker
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Disco
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Model
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DFD 651
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Status
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Excellent
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Location
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In Factory
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Application
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Dicing/Cutting/Slotting various wafers
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제목 없음
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최대
대응 웍 사이즈 |
ø 203.2 |
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대응 프레임 |
2-6, 2-8 |
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X축 |
절삭 가능범위(mm) |
210 |
| 공급속도 입력범위(mm/s) |
0.1 - 450 |
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Y축 |
절삭 가능범위(mm) |
210 |
| 인덱스 스텝(mm) |
0.0001 |
| 위치결정 정밀도(mm) |
0.003이내/210
(단일 오차) 0.002이내/5 |
| 스케일 분해능(mm) |
0.0002 |
| 유효 스트로크(mm) |
26 |
| 위치결정 정밀도(mm) |
0.002이내/26 |
| 스케일 분해능(mm) |
0.0002 |
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Z1·Z2축 |
유효 스트로크(mm) |
7.2 (ø 2"블레이드의 경우) |
| 이동 분해능(mm) |
0.00025 |
| 반복 정밀도(mm) |
0.001 |
| 사용블레이드 최대구경 (mm) |
ø 55.56
ø 76.2 |
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θ축 |
최대 회전각도(deg) |
380 |
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스핀들 |
정격출력(kW) |
1.0 at 60,000 min-1 |
| 정격토크(N・m) |
0.16 |
| 회전 수 범위(min-1) |
6,000 - 60,000 |
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장비 치수(WxDxH)(mm) |
1,350 x 1,168 x 1,235 |
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장비
무게(kg) |
약1,300 |
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